清潔度是指零部件表面，在生產(chǎn)和運(yùn)輸過程中附著的污染物異 物，污染物異物分為固體顆粒物和液態(tài)殘留物。固體顆粒物，因其尺寸、數(shù)量、硬度不同，對(duì)摩擦、機(jī)械、液壓、流體等系統(tǒng)產(chǎn)生功能性損 傷，嚴(yán)重情況下可導(dǎo)致產(chǎn)品直接報(bào)廢并危及人員生命安全。

顯微鏡顆粒計(jì)數(shù)法的檢測(cè)設(shè)備主體，是由：照相機(jī)、顯微鏡、自動(dòng) 掃描臺(tái)、電腦、分析軟件組成的一臺(tái)顆粒計(jì)數(shù)顯微鏡（或稱清潔度自動(dòng)分析顯微鏡系統(tǒng)）。被測(cè)顆粒物被過濾到一張通常是直徑為47mm的濾膜上，自動(dòng)掃描臺(tái)每次移動(dòng)時(shí)，顯微鏡視場(chǎng)下的濾膜都被拍攝，蕞后由軟件拼接成整張濾膜圖像，通過閾值對(duì)比將顆粒從背景中識(shí)別出來，通過自動(dòng)偏振機(jī)構(gòu)識(shí)別帶金屬反射的顆粒。

本文主要通過對(duì)一臺(tái)顆粒計(jì)數(shù)顯微鏡（清潔度自動(dòng)分析顯微鏡）的分析，闡述采用不同顯微鏡、攝像機(jī)、軟件分析方法，導(dǎo)致的分析結(jié)果差異。

測(cè)量差異原因分析

1.設(shè)備自身是否準(zhǔn)確？

設(shè)備上的攝像系統(tǒng)與自動(dòng)掃描臺(tái)的平面必須平行，且攝像系統(tǒng)的X 與Y軸也必須與自動(dòng)掃描臺(tái)的X和Y軸運(yùn)行軌跡保持平行。這樣才能保證 圖形拼接時(shí)不出現(xiàn)“錯(cuò)位”現(xiàn)象。相比正常設(shè)備，檢測(cè)到的顆 ?？倲?shù)量大幅增加，小顆粒增加，大顆粒缺失。 通常，一臺(tái)顯微鏡在經(jīng)過長時(shí)間、高頻率使用之后，可能會(huì)出現(xiàn)以上情 況。例如：人員磕碰、搬運(yùn)、意外等。

2.像素分辨力差異。

每臺(tái)采用攝像系統(tǒng)拍攝并通過分析圖像得到測(cè)量結(jié)果的設(shè)備，都會(huì)因?yàn)?攝像機(jī)設(shè)計(jì)原理而在邊緣產(chǎn)生單邊1個(gè)像素的不確定性。所以，在測(cè)量 顆粒長度時(shí)，會(huì)產(chǎn)生+/-2個(gè)像素的偏差。由此可得，像素越小、精度越 高、分析時(shí)間越久；像素尺寸越大，精度越低，分析時(shí)間越短。 因此，采用不同像素分辨力時(shí)，測(cè)量結(jié)果會(huì)產(chǎn)生差異。